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晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)中的切割槽深度與寬度檢測技術(shù)
2024-12-18

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進步,晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中,切割槽的深度與寬度檢測是評估晶圓加工精度和完整性的一項重要指標。切割槽是在晶圓...

  • 2020-11-05

    翹曲度測量儀可以測量:熱沉,晶圓,太陽能電池和硅片翹曲度,應(yīng)力以及表面形貌。適合光伏電池翹曲度測量,太陽能電池翹曲度測量,晶圓翹曲度測量,硅片翹曲度測量,晶片翹曲度測量。翹曲度測量儀的作用:本產(chǎn)品適用于普通測量工具無法測量的領(lǐng)埔,如尺寸微小的鐘表、彈簧、橡膠、礦石珠寶、半導(dǎo)體、五金、模具、電子行業(yè)、精細加工、不規(guī)則工件等到進行測量。還可以繪制簡單的圖形,繪制測量畸形、復(fù)雜和零件重疊等不規(guī)則的工件,檢查零件的表面糙度和檢查復(fù)雜的電路板線路。翹曲度測量儀和塞尺測量的對比:1、塞尺...

  • 2020-11-05

    FSM413紅外激光測厚儀是一款廣泛應(yīng)用于晶圓厚度測量的先進儀器。它采用紅外干涉(非接觸式)的測量方式。這種測量方式使得儀器能夠精確測量各種材料的厚度,特別是那些對紅外線透明的材料。此外,該儀器還可以測量有圖形、有膠帶、凸起或者鍵合在載體上的晶圓的襯底厚度。FSM413紅外激光測厚儀產(chǎn)品簡介:1、利紅外干涉測量技術(shù),非接觸式測量。2、適用于所有可讓紅外線通過的材料硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…FSM413紅外激光測厚儀規(guī)格:1、測量方式:紅外干涉(非...

  • 2020-11-02

    光學(xué)厚度測量儀是一種可以檢測薄膜、金屬等材料厚度的儀器,而經(jīng)過厚度是否均勻,從而確定薄膜、金屬等材料的各項物理性能指標。因為這些材料如果厚度不一致,那么不僅會導(dǎo)致材料的拉伸強度受到破壞,阻隔性下降,還會為材料的后期加工帶來不利的影響。該測量儀只是檢測金屬、薄膜、板材、橡膠、紙張、塑料的質(zhì)量和性能的基本方法。它所測量的對象往往是一些對厚度有一定要求的材料,其中,包括了金屬箔片,而金屬箔片還包括了鋁箔、銅箔、錫箔等?,F(xiàn)在由于儀器的改進,厚度測試儀已經(jīng)漸漸成為確保各種材料能夠得到進...

  • 2020-11-02

    美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀特殊功能優(yōu)點:1、*封閉的設(shè)計,溫度更穩(wěn)定。2、特殊的設(shè)計使震動偏移降到較低。3、圖形式使用界面更容易使用。4、當改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動重新計算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。6、可以計算應(yīng)力的均勻性。7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel,提供給SPC分析。8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研...

  • 2020-10-30

    StrainScopeFlex可調(diào)式實時應(yīng)力儀產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點,對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶遍及*,用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。Flex系列可調(diào)式實時應(yīng)力儀主要產(chǎn)品有三大系列:M系列高精度型;S系列實時型;M系列大口徑拼接型1、單口徑一次成像。測量時間<45s,測量速度快。2、空間分辨率高,低噪聲。3、操作方...

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