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晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)中的切割槽深度與寬度檢測(cè)技術(shù)
2024-12-18

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中,切割槽的深度與寬度檢測(cè)是評(píng)估晶圓加工精度和完整性的一項(xiàng)重要指標(biāo)。切割槽是在晶圓...

  • 2021-11-11

    紅外測(cè)厚儀利用紅外光穿透物質(zhì)時(shí)的吸收、反射、散射等效應(yīng)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量薄膜類材料的厚度,對(duì)水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠的厚度有著十分重要的意義。紅外測(cè)厚儀有效地改善了工作環(huán)境,具有測(cè)量準(zhǔn)確、精度高、實(shí)用性好、安全可靠、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),并為涂膠池、造紙工序厚度控制提供了準(zhǔn)確的信息,從而提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。紅外測(cè)厚儀測(cè)量的注意事項(xiàng):1、在進(jìn)行測(cè)試的時(shí)候要注意標(biāo)準(zhǔn)片集體的金屬磁性和表面粗糙度應(yīng)當(dāng)與試件相似。2、測(cè)量時(shí)側(cè)頭與試樣表面保持垂直。3、測(cè)量時(shí)要注意...

  • 2021-11-06

    翹曲度,用于表述平面在空間中的彎曲程度,在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)間的距離。絕對(duì)平面的翹曲度為0。翹曲變形是評(píng)定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。對(duì)于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時(shí),這些指標(biāo)可以描述不同設(shè)計(jì)的翹曲變形的大小程度。但對(duì)于不同材料、模具結(jié)構(gòu)等造成翹曲變形的影響模式改變的因素,不同設(shè)計(jì)下各部分的翹曲變形嚴(yán)重程度也隨之改變。美國(guó)FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x具有哪些特殊功能?1、多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì),手動(dòng)裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。2、優(yōu)異的分辨率—...

  • 2021-10-28

    輪廓儀,是一種常用的測(cè)量工具,用于精確復(fù)制和測(cè)量不規(guī)則物體的輪廓形狀。它廣泛應(yīng)用于木工、金屬加工、裝修和模具制造等領(lǐng)域。本文將詳細(xì)介紹輪廓儀的使用方法和注意事項(xiàng),以幫助讀者更好地掌握這一實(shí)用工具。一、輪廓儀的使用方法1.準(zhǔn)備工作:在使用儀器之前,確保物體表面干凈,無(wú)塵和雜質(zhì),以免影響測(cè)量結(jié)果。2.調(diào)節(jié)高度:根據(jù)待測(cè)物體的高度,通過(guò)旋鈕將基座調(diào)節(jié)到合適的高度,使針頭能夠接觸到物體表面。3.復(fù)制輪廓:將儀器平放在待測(cè)物體上,確保針頭接觸物體表面,并輕輕滑動(dòng)儀器,使針頭按照物體曲線...

  • 2021-10-23

    橢偏儀通過(guò)測(cè)量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化,獲得材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息,具有測(cè)量精度高、非接觸、無(wú)破壞且不需要真空等優(yōu)點(diǎn)。橢偏儀的選購(gòu)指南:1、根據(jù)研究或測(cè)試的材料特性來(lái)確定光譜范圍,進(jìn)一步選擇適合光源的橢偏儀。對(duì)于透明材料,考慮關(guān)心的折射率光譜區(qū)域;對(duì)于短波吸收、長(zhǎng)波透明材料,如果關(guān)心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴(kuò)展到紅外透明區(qū)域來(lái)先確定薄膜厚度,然后求解折射率。2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測(cè)量可以增加可靠性,但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場(chǎng)合:多層膜結(jié)構(gòu)、吸收膜...

  • 2021-10-19

    橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器?,F(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過(guò)程中?;驹恚簷E偏儀的原理主要依賴于光的偏振現(xiàn)象。當(dāng)光線通過(guò)某些物質(zhì)時(shí),其偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性,通過(guò)精確控制入射光的偏振態(tài),并測(cè)量經(jīng)過(guò)樣品后光的偏振態(tài)變化,進(jìn)而分析樣品的性質(zhì)。橢偏法測(cè)量具有如下特點(diǎn):1.能測(cè)量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。2.是一種無(wú)損測(cè)量,不必特別制備樣品,也...

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