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該儀器具備轉(zhuǎn)盤式針孔共聚焦和白光干涉兩種光學(xué)測量技術(shù)，用于各種材料/涂層/器件的高精度表面三維特征 測量，能夠測量從粗糙的到光滑的，堅硬的到柔軟的，黏性的表面以及各種場合下難于測量的表面，適用于金屬材 料、非金屬材料、復(fù)合材料、薄膜、涂層、器件等各種各樣材料的表面微觀結(jié)構(gòu)特征的3D成像，提供各種粗糙度， 表面結(jié)構(gòu)的臺階高度，角度、體積、長度、深度等多種數(shù)據(jù)的測試分析、相似特征的統(tǒng)計分析，輪廓提取等