国产乱码精品一品二品,亚洲av永久无码精品成人,久久伊人精品影院一本到综合,美女张开腿让男人桶爽
歡迎來到岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司網(wǎng)站!
咨詢熱線
4008529632
網(wǎng)站首頁(yè)
關(guān)于我們
新聞動(dòng)態(tài)
產(chǎn)品中心
技術(shù)文章
成功案例
資料下載
人才招聘
在線留言
聯(lián)系我們
當(dāng)前位置:
首頁(yè)
>
技術(shù)文章
>
等離子去膠在使用時(shí)需注意哪四個(gè)影響要素?
等離子去膠在使用時(shí)需注意哪四個(gè)影響要素?
更新時(shí)間:2023-07-20 | 點(diǎn)擊率:891
去膠工藝是微加工過程中一個(gè)重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對(duì)樣片是否有損傷等問題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。
等離子去膠
性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。
產(chǎn)品具有去膠快速*;對(duì)樣片無損傷;操作簡(jiǎn)單安全;設(shè)計(jì)緊湊美觀;產(chǎn)品性價(jià)比高等優(yōu)勢(shì)。
等離子去膠在使用中四大影響要素,希望能幫到大家。
1、調(diào)整合適的頻率:頻率越高,氧越易電離構(gòu)成等離子體。頻率太高,以致電子振幅比其平均自由程還短,則電子與氣體分子磕碰概率反而減少,使電離率降低。通常常用頻率為13.56MHz及2.45GHZ。
2、調(diào)整合適功率:關(guān)于必定量的氣體,功率大,等離子體中的的活性粒子密度也大,去膠速度也快;但當(dāng)功率增大到必定值,反響所能耗費(fèi)的活性離子到達(dá)飽滿,功率再大,去膠速度則無顯著添加。由于功率大,基片溫度高,所以應(yīng)根據(jù)技術(shù)需求調(diào)理功率。
3、調(diào)整適合的真空度:恰當(dāng)?shù)恼婵斩龋墒闺娮舆\(yùn)動(dòng)的平均自由程變大,因而從電場(chǎng)取得的能量就大,有利電離。別的當(dāng)氧氣流量必守時(shí),真空度越高,則氧的相對(duì)份額就大,發(fā)生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高,活性粒子濃度反而會(huì)減小。
4、氧氣流量的調(diào)整:氧氣流量大,活性粒子密度大,去膠速率加速;但流量太大,則離子的復(fù)合概率增大,電子運(yùn)動(dòng)的平均自由程縮短,電離強(qiáng)度反而降低。若反響室壓力不變,流量增大,則被抽出的氣體量也添加,其間尚沒參與反響的活性粒子抽出量也隨之添加,因而流量添加對(duì)去膠速率的影響也就不甚顯著。
上一篇:
紅外激光測(cè)厚儀相對(duì)于同類型產(chǎn)品,它有以下優(yōu)勢(shì)!
下一篇:
想把硬化涂層膜厚儀使用好,這些執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)你一定要知道
在線咨詢
電話
4008529632
微信掃一掃
返回頂部